'반도체 초순수' 국산화 민·관 연구개발 착수

송고 2021.07.14 15:48 | 수정 2021.07.14 15:53
EBN 손병문 기자 (moon@ebn.co.kr)

환경부·수자원公·환경산업기술원, 고순도 공업용수 통합 기술개발 착수

환경부는 수자원공사 및 환경산업기술원과 함께 ‘고순도 공업용수 설계·시공·운영 통합 국산화 기술개발’ 사업에 착수한다고 14일 밝혔다. 반도체 사업의 필수 원료인 초순수 국산화를 본격 추진한다.

이번 프로젝트는 2019년 일본의 수출규제에 대응하기 위한 조치 중 하나다. 국산 기술로 반도체 공정에 사용되는 고순도 공업용수를 생산하는 기술개발(R&D) 사업이다.

초순수(Ultra Pure Water)는 수백개의 반도체 생산 단위공정 중에 나오는 부산물·오염물을 세정할 때 쓰이는 필수 공업용수다. 초미세회로로 구성된 반도체를 세척해야 하기 때문에 총유기탄소량(TOC)의 농도가 ‘10억분의 1(ppb)’ 이하 고순도를 유지해야 한다.

그간 우리나라에서는 반도체 사용 용수의 50%를 차지하는 초순수 공업용수의 생산·공급을 일본 등 해외업체에 의존해왔다. 특히 공정설계, 초순수 배관, 수처리 약품을 일본에 의존하고 있어 수출규제 등 외부환경에 취약한 상황이다.

환경부는 올해 고순도 공업용수 생산을 위한 핵심부품인 자외선 산화장치(UV)와 용존산소 제거용 탈기막 국산화 기술개발에 착수했다.

한국수자원공사는 오는 2025년까지 하루 2400톤의 초순수를 생산하는 실증플랜트를 실제 반도체 공급업체에 설치·운영할 계획이다. 초순수 생산 시설이 완료되면 반도체 설계·시공·운영 단계별로 쓰이는 초순수 공정의 최대 60%를 국산화할 예정이다.

이들 공공기관과 관련 업계가 △초저농도 유기물 제거용 자외선 산화장치 △ 초저농도 용존산소 제거용 탈기막 △고순도 공업용수 설계-시공-운영 통합△고순도 공업용수 공정 및 수질 성능평가 △반도체 폐수를 이용한 고순도 공업용 원수 확보 등 5개의 세부과제별 기술개발을 목표로 삼아 2025년까지 추진한다.

에코셋, 네오텍, 클루, 세프라텍, 한성크린텍, 진성이엔씨, 태영건설, 해성엔지니어링, 디에치테크, 케에피아이엔디가 참여한다.

수자원공사 관계자는 "실증플랜트 구축을 위해 수요처와 협의 중"이라며 "구축 및 활용계획을 검토해 실증플랜트를 설치할 대상지를 연내 확정할 예정"이라고 전했다.

김동진 환경부 수자원정책관은 “고순도 공업용수는 반도체 뿐만 아니라 제약·바이오·정밀화학 등 고부가가치 산업에서 수요가 확대되고 있다”며 "기술개발 사업이 차질없이 이행되면 해외 기술 의존도 탈피와 더불어 국내 수처리 업계의 해외 시장 진출 기반을 마련하는 발판이 될 것”이라고 말했다.

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